Polysilicon Ditrctional Solidificasion зуух
Өргөдөл
Энэхүү төхөөрөмж нь нарны ембүү үйлдвэрлэх, хагас дамжуулагч материалыг боловсруулахад оролцдог.Энэ нь мөнгө, кобальт дээр суурилсан өндөр температурт хайлш үйлдвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд эдгээр хайлшаар хийсэн өндөр чанартай бүтээгдэхүүнийг ихэвчлэн сансрын турбин хөдөлгүүрийн үйлдвэрлэл, тээврийн хэрэгсэл, биоанагаахын салбар, химийн болон зугаа цэнгэлийн салбарт ашигладаг.
Онцлогууд
Өндөр хяналтын нарийвчлал, цистализмын хурдыг чөлөөтэй тохируулах, бал чулууны эсэргүүцэл эсвэл индукцаар халаах хайлах арга, хайлалтыг нэмэгдүүлэх, хайлах хурд.Гурван фазын гүйдлийн тэнцвэртэй, засвар үйлчилгээний зардал багатай, чиглэлтэй хатуурах дулааныг хадгалахын тулд тусгай халаалтын цахилгаан хангамжийг ашигладаг.Тогтмол температур хянагчаар халаалтын процессын 148 муруйг тохируулах боломжтой.Өндөр вакуум зуухны их биеийг зуухны камерт ашигладаг бөгөөд өндөр вакуум зэрэгтэй, хурдан шахах хурдтай байдаг.
Техникийн параметрүүд
Хайлуулах хүчин чадал | 10-450 кг |
Хүч | 40-450 кВт |
Төлөвлөсөн температур | 1700℃ |
Ажлын температур | 1450℃ |
Температурын өсөлтийн хурд | 40℃/мин |
Зуухны температурын жигд байдал | +5℃ |
Хязгаарлагдмал вакуум | 6.67*10-2Па |
Даралтын өсөлтийн хурд | 0.01 ПаЛ/С |
Нэрлэсэн инфляцийн дарамт | 0.05 Мпа |
Цутгамал ембүү арга | тигель унах/барих зуухны өргөлтөөр чиглэлтэй хатууруулах |
Серво хяналтын хүрээ | 0.01мм-0.5мм/мин |
Тигель хурдан буцах хурд | 80-100мм/мин |